AnPT V30 系列等離子機

2020-10-14 15:39:39

V30 系列等離子機

 

AnPT-V30

AnPT-V30X

生產板尺寸

板厚

0.1-12mm (<1mm, 掛架需要定制)

標準

22x27(30片)

25x30”(30片)

最大

27x44(15片)

30x50”(15片)

Cycle Time

Desmear

20-30min

Desmear+活化

30-45min

產能

Desmear

60-90 pnl/hour

Desmear+活化

30-45 pnl/hour

均勻性

>80%

左中右三槽;每槽5-9個點

蝕刻速率

>0.3um/min

CF4用量(運行成本)

3%-8% (Desmear)

真空能力

極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT

射頻電源

10KW/40KHz

10KW/40KHz

氮氣發生器純度

99%

升溫速率

1-2℃/min; (獨特設計,減少升溫時間)


優異的均勻性、高產能;低生產成本

滿足MSAP/HDI,高厚徑比硬板,Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求,具有良好的工藝性能

優異的工藝性能,具備較高的處理均勻性和蝕刻速率

垂直-雙極饋電型電極,保證產品雙面同步均勻處理

獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計,確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效

高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求

可靈活配置電極及氣體分配方案,適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求

觸控式操作界面,直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量

整機設計緊湊,一體化設計整合各組件于主機器內, 占地面積小

極低的生產保養成本、維護簡單便捷

40KHz自適應射頻電源,具有優異的穩定性和工藝可

重復性



AnPT V30 系列等離子機



應用領域

孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI

Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除

Etch Back回蝕/凹蝕

Carbon Removal碳化物去除

激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物)

Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除

PTFE活化,確保高頻、通訊、背板等孔金屬化性能

Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留)

綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除

納米級表面粗化、應力釋放

表面活化與清潔

表面改性

層壓前處理改善材料間結合力,消除壓合層分層

PI粗化,補強前處理,增強補強貼合結合力

防焊前處理,有效防止涂覆防焊油墨脫落

絲印字符前處理,保證字符清晰、無脫落

材料表面活化改性,改善難粘材料間可粘性,提升粘接結合力

改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性

 

V30系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求




AnPT V30 標準技術規格

 

設備尺寸及

規格

長x寬x高

V30:1960x1450x1960(mm)

V30X:1960x1585x2135(mm)

凈重

V30S 1450Kg; V30 1700Kg; V30X 1800Kg

工藝腔體

腔體尺寸(長x寬x高)

V30S 34x34x38(in.)

V30 34x45x38(in.) V30X 34x52x38(in.)

處理槽數

15 槽

電極

電極尺寸

有效處理面積

V30S 33x26(in.) V30 44x27(in.)

V30X 50x30(in.)

電極類型

柵欄式標準溫控電極

射頻電源

功率規格

5KW /10KW /10KW

頻率

40KHz

氣體控制

標準規格

其它可選配

標準_5slm,2slm,0.5slm 選配_2slm,2slm

質流量計最多可配置數

5

真空泵

干式真空泵

GXS160/1750F HV MD RE CA

冷卻水流量

3slm

凈化氮氣流量

10slm

控制系統

人機界面

PLC+觸屏人機界面

 

 

 

廠務要求

供電需求

380V,50A,三相四線,50Hz

工藝氣體接口

1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

工藝氣體種類及純度

CF4=99.999%; O2=99.999%; N2=99.999%;

H2=99.999%; Ar=99.999%

工藝氣體供應壓力

20psi((0.15MPa)

凈化氮氣接口

1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

凈化氣體純度

99.9%

凈化氣體供應壓力

20psi((0.15MPa)

壓縮空氣接口類型

1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

壓縮空氣要求

潔凈、干燥

壓縮空氣供應壓力

80-100psi

尾氣接口

NW40

電極冷卻水

蒸餾水

冷卻水接口

RC 1/2in.(12.7mm)

選配設備

氮氣發生器

35L/min(2立方米/小時)

冷水機

25KW制冷量

380V,三相,6.5KW

廢氣塔

220V,單相


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