H17 等離子機

2020-10-14 15:50:37

特點和優勢

 

§ 特別適合 FPC, COF,ACF 以及 IC 載板生產

§ 應用于

ü 表面清潔、去氧化

ü 活化改性,提升附著力和可涂覆性

(絲印、噴碼、化金、壓合/膜、貼鋼片/強)

ü 除膠,除綠油、顯影殘留

§ 均勻性好,產能高

§ 一體式掛架可水平裝載 FPC 或基板,裝載快捷簡便

§ 設計緊湊實用,生產高效經濟;占地面積小,耗氣量低

§ 實時溫控電極確保工藝穩定和可重復性

§ 操作簡單,維護便捷



型號

AnPT-H17

AnPT-H17D

生產板尺寸

板厚

0.1-12mm

電極尺寸

850x530mm

525x830mm

層數

17

34

Cycle  Time

Desmear

15-20min

表面清潔活化

10-15min

產能

(830x250mm)

Desmear

90-130pnl/hour

150-220 pnl/hour

表面清潔活化

130-180 pnl/hour

250-350 pnl/hour

均勻性

>80%

上中下三槽;每槽 5-9 個點

蝕刻速率

>0.3um/min

CF4 用量(運行成本)

3%-8% (Desmear)

真空能力

極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度 200-

300mT

射頻電源

10KW/40KHz

氮氣發生器純度

99%


規格

整機尺寸

長 x 寬 x 高

1000 長 x 1200 寬 x 1780 高 mm

凈重

2500 kg

地面承重

設備總重1.7T,沉重0.6T/m2

工藝腔

載板能力

17 層或 34 層

射頻電源

標配功率

10 kW

頻率

40 kHz

氣體控制

氣體

導電棒分布兩側,工藝氣體從前腔門進,腔體背部排氣

可選流量計

500, 1000, 2000 or 5000 sccm,標配 2 路

最多可配流量計數量

5

電氣控制

人機界面

PLC+Windows 系統電腦,觸屏式

 

真空泵組

漢中

PS902,品牌漢鐘,產地上海,極限壓力10mTorr,最大抽速900立方每小時

標準泵組能力

630 cfm

冷卻水要求

5 slm

氮氣要求

14 slm

 

 

 

廠務要求

電源

380V,三相四線20kw(設頻滿負荷含附屬設備),

氮氣發生器(選配)

80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.)

冷水機(選配)

70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz

尾氣處理塔(選配)

220V, 38.1mm 接口

尾氣接口

NW40

工藝氣體接口

6.35 mm (0.25 in.) Swagelok

工藝氣體純度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%; H2 = 99.999%

工藝氣體壓力

1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大)

凈化氮氣接口

6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube

凈化氮氣純度

N2 = 99.9%

凈化氮氣壓力

1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大)

安裝環境

溫度40攝氏度以下,濕度85以下

廢氣

配備廢氣處理塔或者接入廠務酸排,靜態抽風壓力不低于5psi,寸半抽風管

電極

冷卻

連個回路交叉通水,進出水方向相反






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