H30 系列等離子機

2022-02-28 14:24:47

H30系列等離子機 

 

型號

 

AnPT-H30D

 生產板尺寸

板厚

0.03-12mm

電極尺寸

最大

550x630mm

層數

雙排15*2

30

Cycle  Time

Desmear

15-20min

表面清潔活化

10-15min

產能500x250mm)

Desmear

60pnl/hour

120 pnl/hour

表面清潔活化

60 pnl/hour

120 pnl/hour

均勻性

>80%

上中下三槽;每槽 5 個點

蝕刻速率

>0.3um/min

CF4 用量(運行成本)

3%-8% (Desmear)

真空能力

極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度 200-300mT

射頻電源

5-10KW/40KHz

氮氣發生器純度

99%



優異的均勻性、高產能;低生產成本

滿足MSAP/HDI,高厚徑比硬板,Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求,具有良好的工藝性能

優異的工藝性能,具備較高的處理均勻性和蝕刻速率

垂直-雙極饋電型電極,保證產品雙面同步均勻處理

獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計,確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效

高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求

可靈活配置電極及氣體分配方案,適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求

觸控式操作界面,直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量

整機設計緊湊,一體化設計整合各組件于主機器內, 占地面積小

極低的生產保養成本、維護簡單便捷

40KHz自適應射頻電源,具有優異的穩定性和工藝可重復性


AnPT H30 系列等離子機

應用領域

孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI

Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除

Etch Back回蝕/凹蝕

Carbon Removal碳化物去除

激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物)

Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除

PTFE活化,確保高頻、通訊、背板等孔金屬化性能

Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留)

綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除

納米級表面粗化、應力釋放

表面活化與清潔

表面改性

層壓前處理改善材料間結合力,消除壓合層分層

PI粗化,補強前處理,增強補強貼合結合力

防焊前處理,有效防止涂覆防焊油墨脫落

絲印字符前處理,保證字符清晰、無脫落

材料表面活化改性,改善難粘材料間可粘性,提升粘接結合力

改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性

 

V30系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求

 

可配自動化裝板系統




AnPT H30標準技術規格

 

整機尺寸

長 x 寬 x 高

1200 長 x 1200 寬 x 2180 高 mm

凈重

2500 kg

地面承重

設備總重1.7T,沉重0.6T/m2

工藝腔

載板能力

15*2

射頻電源

標配功率

10 kW

頻率

40 kHz

氣體控制

氣體

導電棒分布兩側,工藝氣體從前腔門進,腔體背部排氣

可選流量計

500, 1000, 2000 or 5000 sccm,標配 2 路

最多可配流量計數量

5

電氣控制

人機界面

PLC+Windows 系統電腦,觸屏式

 

真空泵組

愛德華

GXS160/1750

標準泵組能力

630 cfm

冷卻水要求

5 slm

氮氣要求

14 slm

 

 

 

 

廠務要求

電源

380V,三相四線20kw(設頻滿負荷含附屬設備),

氮氣發生器(選配)

80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.)

冷水機(選配)

70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz

尾氣處理塔(選配)

220V, 38.1mm 接口

尾氣接口

NW40

工藝氣體接口

6.35 mm (0.25 in.) Swagelok

工藝氣體純度

CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%;

Ar = 99.999%; H2 = 99.999%

工藝氣體壓力

1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大)

凈化氮氣接口

6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube

凈化氮氣純度

N2 = 99.9%

凈化氮氣壓力

1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大)

安裝環境

溫度40攝氏度以下,濕度85以下

廢氣

配備廢氣處理塔或者接入廠務酸排,靜態抽風壓力不低于5psi,寸半抽風管

 

 

電極

冷卻

連個回路交叉通水,進出水方向相反






【返回】
一级做a爱过程免费视频_久久九九有精品国产23_一级做a爱全过程全视频_午夜丰满少妇一级毛影院